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약품공급장치

Chemical Supply System

Chemical Supply System

  •  화학물질 중앙공급 설비 및 SYSTEM
  •  DRUM-TYPE SUPPLY SYSTEM
  •  DRUM-TYPE SUPPLY SYSTEM
  •  SLURRY SUPPLY SYSTEM
  •  HF SUPPLY SYSTEM

반도체 및 LCD, TSP 제조 공정상에 필요한 Chemical 을 별도의 Sub. Unit 을 이용하여 공급을 할 수있는 장치로 고객의 요구에 따라 원액 및 Mixing Ratio 에 따른 대응도 가능 하도록 구성한 System

  • 방식 : Auto & Manual 대응
  • 사용약액 : SC-1, HF, Slurry, ITO, H2SO4, HNO3, Solvent, Alkali
  • Controller : PLC & Touch Based Control
  • CMS & Data Base 구축가능
High-pressure DIW Supply System

High-pressure DIW Supply System

반도체 제조 공정상에 필요한 DIW를 고압으로 각각의 Unit에 공급이 가능하도록 별도의 system(HPDS) 을 이용하여 DIW를 공급 할 수 있는 장치로 고객의 요구에 따라 유량 및 압력을제어기 자동으로 되도록 설계

  • 방식 : Auto ~ Manual 대응가능
  • Tank 용량 : 20~500 Liter
  • DIW 유량 : 5 ~ 200 Liter/Min
  • 공급압력 : 2 ~ 80 psig

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