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FPD장비

CG

COVER GLASS CLEANER

  • Cell Application : 4”~7” Cover Glass
  • Loading 방식 : Cassette or Tray, Manual Loading 가능
  • Processing Method : 무진천 세정 Type
  • 사용 약액 : 에탄올
  • Host On-Line : CIM-PC
  • 안전인증 : CE 인증 취득
  • Option Item : Vision Align, MCR Reading, USC Unit
Cell

Cell Cleaner [ In-line Type]

Mobile Display Line의 4” or 7” 또는 중대형용 Cell을 매엽 방식으로 세정하고, Cassette to Cassette 또는 Try to Try 방식의 Loader & Un-Loader 구성이 가능한 장비임.

  • Cell Application : 4”, 5” and 중대형 (7” Cell)
  • 방식 : Cassette or Tray
  • Processing Method : Vacuum Conveyor or Plate Air Knife Roll Brush
  • 사용 약액 : ACID, Organic, Alkali, D/W
  • Controller : PLC   Touch Based Control
  • Remark : HDIW-Spray, Hot-Air Unit NANO-Spray,2류체 Shower NozzleWater Jet Spray 기능수 (전해이온수장치)
IN-LINE

IN-LINE Cleaner

본 장비는 Glass 기판의 세정을 목적으로 한 매엽식 세정장비임.

  • 기판 세대별 대응 : Depend on Customer’s Option
  • Full Automatic System (In-Line 화 장비) : 반입기 > Roller 반송 > UV > Brush > Jet-Rinse > 초음파 > Final 세정 > 건조 > 반출기
  • 습식 Type 의 Chip 제거 및 세정능력
  • 세정부, DIW 사용량 대폭절감
  • 초음파 세정 Type 적용가능 (세정력향상)
  • Cassette In Line 가능
  • 기판 두께 변경 가능 (Recipe 자동구현)
Rigde Dry

RIGIDE DRY CLEANER

OLED POL 부착 전 부유성 잔여물 등을 제거하기 위해 제작된 세정 장비

  • Cell Application : Flat Rigid Panel
  • 방식 : Auto ~ Manual 대응
  • Processing Method : 무진천 PAD 세정
  • 사용 약액 : 에탄올
  • Controller : PLC & Touch Based Control
  • 안전인증 : CE 인증 취득
  • Option Item : USC Unit
IT

IT CLEANER

WFA 전 Panel 상부의 Particle 및 찐 세정을 최적화하도록 설계된 고성능 세정장비이다.

  • Cell Application : 381 X 222, 349 X 202, 298 X 174, 167 X 111, 12.6인치(태블릿)
  • Loading 방식 : Auto ~ Manual 대응
  • Processing Method : 무진천 PAD 세정
  • 사용 약액 : 에탄올/ CS-OCA200B
  • Controller : PLC & Touch Based Control
  • 안전인증 : CE 인증 취득
  • Option Item : Vision Align Unit, 단축로봇
Foldable Tray

FOLDABLE TRAY CLEANER

FOLDABLE TRAY 표면의 Particle 및 부유성 이물을 세정하고 건조, 검사하도록 설계된 고성능 세정장비이다.

  • Cell Application : Tray
  • Loading 방식 : 40단 적재, 자동 투입 기능
  • Processing Method : 2류체 고압 Shower 및 Air Knife 건조
  • 제품반송 : 수평 투입 or 수직투입
  • Controller : PLC & Touch Based Control
  • 안전인증 : CE 인증 취득
  • Option Item : Vision Unit, 2류체 Nozzle Shower, Air Knife & Air Blower
Tray

TRAY CLEANER

Tray 세정 프로세스를 최적화하는 동시에 전체 비용을 최소화하도록 설계된 다용도 고성능 세정장비이다.

  • Cell Application : Tray
  • Loading 방식 : 40단 적재, 자동 투입 기능
  • Processing Method : 고압 Shower 및 Air Knife 건조
  • 제품반송 : 수평 반송
  • Controller : PLC & Touch Based Control
  • 안전인증 : CE 인증 취득
  • Option Item : Nozzle Shower, Air Knife & Air Blower

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